Прикладная физика и математика Аннотация к статье << Назад ФОРМИРОВАНИЕ СОСТАВА, СТРУКТУРЫ И МОДИФИКАЦИЯ ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИХ СВОЙСТВ ТОНКИХ ПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ МЕТАЛЛОВ И ИХ СПЛАВОВ МЕТОДОМ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ В.Я. БАЯНКИН, П.В. БЫКОВ, С.Г. БЫСТРОВ, В.Л. ВОРОБЬЕВ, Ф.З. ГИЛЬМУТДИНОВ, В.С. ГЛАДЫШЕВА, Т.С. КАРТАПОВА, И.Н. КЛИМОВА, А.А. КОЛОТОВ, С.М. РЕШЕТНИКОВ Методами АСМ, РФЭС, РСА, механических и электрохимических испытаний изучено влияние имплантации инертных и химически активных ионов на формирование состава, структуры и модификацию физико-химических свойств тонких поверхностных слоев нержавеющей стали 03Х18Н11, титанового сплава ВТ6, армко-железа с напыленной пленкой углерода и армко-железа с напыленными пленками титан-алюминий. Показано, что имплантация ионов аргона, кислорода и азота приводит к повышению коррозионной стойкости стали 03Х18Н11 как в нейтральной среде, так и в среде, содержащей сильные активаторы коррозии – анионы хлорида. Установлено, что в условиях имплантации ионов N+ в титановый сплав ВТ6 формирование структурно-фазового состояния поверхностных слоев определяется химической активностью атомов азота к атомам титана. Облучение с высокими частотами следования импульсов, углеродных пленок на поверхности армко-железа, ионной имплантацией приводит к проявлению радиационно-термического эффекта, приводящего к коагуляции мелкодисперсных частиц в более крупные образования, и это сопровождается увеличением микротвердости пленок. Исследовано влияние перемешивания ионами аргона на формирование поверхностных слоев покрытия пленок алюминия и титана на подложке армко-железа. Определены параметры ионно-лучевого перемешивания, позволяющие сформировать интерметаллидные соединения (TiAl) в поверхностных слоях напыленной пленки титан-алюминий на подложке армко-железа. Ключевые слова: рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия, атомно-силовая микроскопия, поверхностные слои, нержавеющая сталь 03Х18Н11, титановый сплав ВТ6, армко-железо, пленки титан-алюминий, оксиды и нитриды титана. DOI: 10.25791/pfim.05.2023.1274 Стр. 10-23.