 |
реклама |
|
|
|
|
|
|
Прикладная физика и математика Аннотация к статье << Назад
Результаты разработки микромеханического
вибрационного гироскопа с разнесенными
частотами возбуждения и съема информации |
А.В. Соловьёв
Рассмотрены варианты конструктивных реализаций
кремниевого подвеса для микромеханического вибра-
ционного гироскопа (МВГ) с разнесенными частотами
возбуждения и съема информации, различающиеся как
кинематикой рабочих движений, так и технологией из-
готовления, рассчитанной на производство на террито-
рии Российской Федерации. Проведен расчет собствен-
ных частот всех разработанных вариантов кремниевых
чувствительных элементов (ЧЭ) МВГ. Выведены и про-
анализированы уравнения движения подвижной части
МВГ – кремниевого ЧЭ, предложены варианты снижения
погрешностей от геометрических несовершенств при
его производстве. Частотное разнесение первичных и
вторичных колебаний кремниевого подвеса МВГ позво-
ляет разделять полезную и квадратурную составляющие
выходного сигнала по частоте, что способствует повы-
шению точности прибора. Это подтверждают результа-
ты предварительных испытаний опытных образцов МВГ,
разработанных филиалом ФГУП «ЦЭНКИ» – «НИИ ПМ
им. академика В.И. Кузнецова» и изготовленных на от-
ечественных предприятиях, в ходе которых были опре-
делены их точностные параметры (нулевой сигнал и его
нестабильность во времени, масштабный коэффициент
и его нелинейность, диапазон измеряемых скоростей,
а также перекрестная связь между каналами) и прове-
дено сравнение с приборами-аналогами. Предложены
способы улучшения характеристик и направления даль-
нейших работ.каналами) и проведено их сравнение с
приборами-аналогами.
Ключевые слова: МЭМС, микромеханический гироскоп,
квадратурная ошибка, частотное разнесение.
Контактная информация: Е-mail: al.vl.soloviev@gmail.com
Стр. 03-19. |
|
|
|
Последние новости:
Выставки по автоматизации и электронике «ПТА-Урал 2018» и «Электроника-Урал 2018» состоятся в Екатеринбурге Открыта электронная регистрация на выставку Дефектоскопия / NDT St. Petersburg Открыта регистрация на 9-ю Международную научно-практическую конференцию «Строительство и ремонт скважин — 2018» ExpoElectronica и ElectronTechExpo 2018: рост площади экспозиции на 19% и новые формы контент-программы Тематика и состав экспозиции РЭП на выставке "ChipEXPO - 2018" |