Прикладная физика и математика Аннотация к статье << Назад Результаты разработки микромеханического вибрационного гироскопа с разнесенными частотами возбуждения и съема информации А.В. Соловьёв Рассмотрены варианты конструктивных реализаций кремниевого подвеса для микромеханического вибра- ционного гироскопа (МВГ) с разнесенными частотами возбуждения и съема информации, различающиеся как кинематикой рабочих движений, так и технологией из- готовления, рассчитанной на производство на террито- рии Российской Федерации. Проведен расчет собствен- ных частот всех разработанных вариантов кремниевых чувствительных элементов (ЧЭ) МВГ. Выведены и про- анализированы уравнения движения подвижной части МВГ – кремниевого ЧЭ, предложены варианты снижения погрешностей от геометрических несовершенств при его производстве. Частотное разнесение первичных и вторичных колебаний кремниевого подвеса МВГ позво- ляет разделять полезную и квадратурную составляющие выходного сигнала по частоте, что способствует повы- шению точности прибора. Это подтверждают результа- ты предварительных испытаний опытных образцов МВГ, разработанных филиалом ФГУП «ЦЭНКИ» – «НИИ ПМ им. академика В.И. Кузнецова» и изготовленных на от- ечественных предприятиях, в ходе которых были опре- делены их точностные параметры (нулевой сигнал и его нестабильность во времени, масштабный коэффициент и его нелинейность, диапазон измеряемых скоростей, а также перекрестная связь между каналами) и прове- дено сравнение с приборами-аналогами. Предложены способы улучшения характеристик и направления даль- нейших работ.каналами) и проведено их сравнение с приборами-аналогами. Ключевые слова: МЭМС, микромеханический гироскоп, квадратурная ошибка, частотное разнесение. Контактная информация: Е-mail: al.vl.soloviev@gmail.com Стр. 03-19.