EN | RU    
Издательство научно-технической литературы
Поиск по сайту:

На главную»

Контакты»

Журналы»

Новости»

Оформление статей»

Реклама в журналах»

Обратная связь»

Книги»

О фирме»



 реклама



Прикладная физика и математика

Аннотация к статье
<< Назад
ОСОБЕННОСТИ ГИБРИДНОГО ВЫСОКОЧАСТОТНОГО РАЗРЯДА НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯ
П.А. НЕКЛЮДОВА, Е.А. КРАЛЬКИНА, К.В. ВАВИЛИН, И.И. ЗАДИРИЕВ, А.М. НИКОНОВ

Настоящая работа посвящена изучению параметров плазмы гибридного ВЧ разряда, представляющего собой новую модификацию известных форм ВЧ разрядов: индуктивного и емкостного. Узел ввода мощности такого разряда выполнен в виде параллельно соединенных соленоидальной антенны и обкладок конденсатора, расположенных на боковой и торцевых поверхностях источника плазмы, соответственно. Между антенной и обкладками конденсатора включена разделительная емкость, позволяющая регулировать вклад емкостного канала в поддержание разряда. В работе в подробно рассмотрено влияние величины разделительной емкости, мощности ВЧ генератора и давления аргона на параметры плазмы гибридного ВЧ разряда: энергетическое распределение, эффективную температуру и концентрацию электронов, характеристики приэлектродных слоев пространственного заряда. Сравнение свойств гибридного ВЧ разряда с чисто емкостным и индуктивным разрядами показало, что параметры плазмы гибридного ВЧ разряда заполняют промежуток между параметрами плазмы индуктивного и емкостного ВЧ разряда в рассмотренном интервале разделительных емкостей. Изменение внешних условий поддержания разряда позволяет плавно изменять его характеристики.
Ключевые слова: плазма, разряд, высокочастотный, гибридный, индуктивный, емкостной.

Контактная информация: E-mail: nekludova_pa@mail.ru

Стр. 25-33.

 разделы

«О журнале

«Архив журнала

«Тематическая направленность журнала

«Правила оформления статей

«Этапы рассмотрения и публикации статей

«Правила рецензирования статей

«Редакционная и профессиональная этика

«Обнаружение плагиата

«Редакция и редакционная коллегия

«Новости журнала


 журналы
...................................
Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика
...................................
Приборостроение и средства автоматизации. Энциклопедический справочник
...................................
Промышленные АСУ и контроллеры
...................................
Экологические системы и приборы
...................................
Авиакосмическое приборостроение
...................................
Инженерная физика
...................................
История науки и техники
...................................
Музыка и время
...................................
Нотный альбом
...................................
Музыковедение
...................................
Бюллетень Главного ботанического сада
...................................
Всеобщая история
...................................
Справочник инженера
...................................
Прикладная физика и математика
...................................
Известия академии инженерных наук им. А.М. Прохорова
...................................

Последние новости:

Выставки по автоматизации и электронике «ПТА-Урал 2018» и «Электроника-Урал 2018» состоятся в Екатеринбурге

Открыта электронная регистрация на выставку Дефектоскопия / NDT St. Petersburg

Открыта регистрация на 9-ю Международную научно-практическую конференцию «Строительство и ремонт скважин — 2018»

ExpoElectronica и ElectronTechExpo 2018: рост площади экспозиции на 19% и новые формы контент-программы

Тематика и состав экспозиции РЭП на выставке "ChipEXPO - 2018"

   Rambler's Top100 Rambler's Top100         


    Система управления разработана в: ananskikh.ru
© Издательство "НАУЧТЕХЛИТИЗДАТ", 2005-2022