Прикладная физика и математика Аннотация к статье << Назад ОСОБЕННОСТИ ГИБРИДНОГО ВЫСОКОЧАСТОТНОГО РАЗРЯДА НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯ П.А. НЕКЛЮДОВА, Е.А. КРАЛЬКИНА, К.В. ВАВИЛИН, И.И. ЗАДИРИЕВ, А.М. НИКОНОВ Настоящая работа посвящена изучению параметров плазмы гибридного ВЧ разряда, представляющего собой новую модификацию известных форм ВЧ разрядов: индуктивного и емкостного. Узел ввода мощности такого разряда выполнен в виде параллельно соединенных соленоидальной антенны и обкладок конденсатора, расположенных на боковой и торцевых поверхностях источника плазмы, соответственно. Между антенной и обкладками конденсатора включена разделительная емкость, позволяющая регулировать вклад емкостного канала в поддержание разряда. В работе в подробно рассмотрено влияние величины разделительной емкости, мощности ВЧ генератора и давления аргона на параметры плазмы гибридного ВЧ разряда: энергетическое распределение, эффективную температуру и концентрацию электронов, характеристики приэлектродных слоев пространственного заряда. Сравнение свойств гибридного ВЧ разряда с чисто емкостным и индуктивным разрядами показало, что параметры плазмы гибридного ВЧ разряда заполняют промежуток между параметрами плазмы индуктивного и емкостного ВЧ разряда в рассмотренном интервале разделительных емкостей. Изменение внешних условий поддержания разряда позволяет плавно изменять его характеристики. Ключевые слова: плазма, разряд, высокочастотный, гибридный, индуктивный, емкостной. Контактная информация: E-mail: nekludova_pa@mail.ru Стр. 25-33.