|
реклама |
|
|
|
|
|
|
Прикладная физика и математика Аннотация к статье << Назад
СТРУКТУРА И ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ТОНКИХ ПЛЕНОК ZnO, ЛЕГИРОВАННЫХ FE |
М.Н. ВОЛОЧАЕВ, Ю.Е. КАЛИНИН, М.А. КАШИРИН, В.А. МАКАГОНОВ, С.Ю. ПАНКОВ, И.М. ТРЕГУБОВ, В.А. ФОШИН
В работе были исследованы тонкие пленки ZnO, легированные Fe с содержанием от 2,7 до 5 ат. %, полученные методом ионно-лучевого напыления. По результатам рентгеноструктурного анализа и просвечивающей электронной микроскопии установлено, что полученные пленки являются монофазными и поликристаллическимии, характеризуются текстурированной фазой гексагонального ZnO с осью текстуры <001>, при этом с ростом содержания железа степень текстурированности растет. Из анализа результатов исследований коэффициента термоэдс и эффекта Холла следует, что тонкие пленки ZnO:Fe с концентрацией Fe от 2,7 до 5 ат. % являются полупроводниками с электронным типом проводимости. Добавление железа с концентраций от 2,7 до 5 ат .% приводит к немонотонному изменению величины удельного электросопротивления и коэффициента термоэдс, что связано с немонотонной зависимостью подвижности носителей заряда, определяемой степенью текстурированности тонких пленок ZnO и процессами рассеяния носителей заряда на ионах примеси, а также уменьшением концентрации носителей заряда.
DOI: 10.25791/pfim.02.2020.1153
Стр. 07-13. |
|
|
|
Последние новости:
Выставки по автоматизации и электронике «ПТА-Урал 2018» и «Электроника-Урал 2018» состоятся в Екатеринбурге Открыта электронная регистрация на выставку Дефектоскопия / NDT St. Petersburg Открыта регистрация на 9-ю Международную научно-практическую конференцию «Строительство и ремонт скважин — 2018» ExpoElectronica и ElectronTechExpo 2018: рост площади экспозиции на 19% и новые формы контент-программы Тематика и состав экспозиции РЭП на выставке "ChipEXPO - 2018" |