 |
реклама |
|
|
|
|
|
|
Прикладная физика и математика Аннотация к статье << Назад
МЕТОДЫ АТОМНО-СЛОЕВОГО ОСАЖДЕНИЯ ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ
ТОНКИХ ПЛЕНОК ОКСИДА ИНДИЯ ЛЕГИРОВАННОГО ОЛОВОМ |
К.В. ЧИЖ
В работе рассмотрены методы нанесения оптически прозрачных тонких пленок In2
O3
:Sn (ITO) различными методами атомно-слоевого осаждения приведены режимы нанесения и сравнение плёнок полученных различными процессами нанесения. Показана скорость роста пленок для разных процессов нанесения определены оптимальные
температуры осаждения. Рассмотрены процесс плазменно-стимулированного атомно-слоевое осаждение пленок
для снижения температуры осаждения. Проведено обобщение характеристик получаемых пленок с учетом особенностей процесса синтеза.
Ключевые слова: атомно-слоевое осаждение, тонкие пленки, оксид индия легированный оловом, оптически прозрачные контакты, ITO.
DOI: 10.25791/pfi m.05.2024.1310
Стр. 39-47. |
|
|
|
Последние новости:
Выставки по автоматизации и электронике «ПТА-Урал 2018» и «Электроника-Урал 2018» состоятся в Екатеринбурге Открыта электронная регистрация на выставку Дефектоскопия / NDT St. Petersburg Открыта регистрация на 9-ю Международную научно-практическую конференцию «Строительство и ремонт скважин — 2018» ExpoElectronica и ElectronTechExpo 2018: рост площади экспозиции на 19% и новые формы контент-программы Тематика и состав экспозиции РЭП на выставке "ChipEXPO - 2018" |